ವೀಹುವಾ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಕಂ., ಎಲ್‌ಟಿಡಿ 10 ವರ್ಷಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಕ್ರೋ ulation ೀಕರಣವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ನಿಖರ ಸಿಎನ್ಸಿ ಯಂತ್ರ ಕಂಪನಿಯಾಗಿದ್ದು, ಇವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ವ್ಯವಹಾರವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ: ನಿಖರ ಸಿಎನ್ಸಿ ಟರ್ನಿಂಗ್, ಸಿಎನ್ಸಿ ನಿಖರ ಭಾಗಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಸಂಕೀರ್ಣ ಭಾಗಗಳು ಸಿಎನ್ಸಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಪ್ರಮಾಣಿತವಲ್ಲದ ಭಾಗಗಳು ಸಿಎನ್ಸಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ನಿಖರ ಸಿಎನ್ಸಿ ಯಂತ್ರ; ನಾವು ಅನುಭವಿ ಎಂಜಿನಿಯರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ತಂತ್ರಜ್ಞರು ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ನುರಿತ ತಂತ್ರಜ್ಞರನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದೇವೆ, ಸಮಾಲೋಚಿಸಲು ಸ್ವಾಗತ.
ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಸಿಎನ್ಸಿ ಯಂತ್ರದ ವರ್ಗೀಕರಣ ಪ್ರಕಾರಗಳು ಯಾವುವು?
ಒಂದು, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಸಿಎನ್ಸಿ ಯಂತ್ರ
ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಪ್ರಿಸಿಷನ್ ಟರ್ನಿಂಗ್, ಮಿರರ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಇವೆ. ಮೈಕ್ರೊ ಟರ್ನಿಂಗ್‌ಗಾಗಿ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಡೈಮಂಡ್ ಟರ್ನಿಂಗ್ ಟೂಲ್ ಅನ್ನು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ರುಬ್ಬಿದ ನಂತರ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರತೆಯ ಲ್ಯಾಥ್‌ನಲ್ಲಿ, ಕೇವಲ 1 ಮೈಕ್ರಾನ್‌ನ ದಪ್ಪವನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಫೆರಸ್ ಅಲ್ಲದ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಗೋಳಾಕಾರದ, ಆಸ್ಫರಿಕ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರತಿಫಲಕ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರತೆ, ಹೆಚ್ಚು ನಯವಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಭಾಗಗಳು.
ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಪರಮಾಣು ಸಮ್ಮಿಳನ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ 800 ಎಂಎಂ ವ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಆಸ್ಫರಿಕ್ ರಿಫ್ಲೆಕ್ಟರ್‌ಗಳು 0.1 ಮೈಕ್ರಾನ್ ವರೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವು Rz0.05 ಮೈಕ್ರಾನ್ ಆಗಿದೆ.
ಎರಡು, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಸಿಎನ್ಸಿ ನಿಖರ ತಿರುವು ಭಾಗಗಳು ವಿಶೇಷ ಸಂಸ್ಕರಣೆ
ಯಂತ್ರದ ನಿಖರತೆ ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್‌ಗೆ, ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಪರಮಾಣು ಘಟಕಕ್ಕೆ (ಪರಮಾಣು ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ಅಂತರವು 0.1 ~ 0.2 ಎನ್‌ಎಂ) ಗುರಿಯಂತೆ, ಯಂತ್ರ ವಿಧಾನವು ಪೂರೈಸಲು ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ, ವಿಶೇಷ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವಿಧಾನದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಕೆಮಿಸ್ಟ್ರಿ ಶಕ್ತಿ, ಶಾಖ ಅಥವಾ ವಿದ್ಯುತ್ ಮತ್ತು ಹೀಗೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ ನಿಖರತೆಯ ಯಂತ್ರದ ಉದ್ದೇಶವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಈ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಪರಮಾಣುಗಳ ನಡುವಿನ ಬಂಧಿಸುವ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಮೀರಿ ಮಾಡಿ, ಆ ಮೂಲಕ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿರುವ ಪರಮಾಣುಗಳ ನಡುವಿನ ಭಾಗವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಿ, ಬಂಧಿಸಿ ಮತ್ತು ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ವಿರೂಪಗೊಳಿಸಿ.
ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ-ರಾಸಾಯನಿಕ ಹೊಳಪು, ಅಯಾನ್ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಅಳವಡಿಕೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದ ಗಾಳಿ, ಲೇಸರ್ ಕಿರಣ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಲೋಹದ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಸೇರಿವೆ.
ಈ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾದ ಅಥವಾ ಸೇರಿಸಿದ ಮೇಲ್ಮೈ ಪದರದ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲೆ ಉತ್ತಮ ನಿಯಂತ್ರಣದಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲಾಗಿದೆ.ಆದರೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಯಂತ್ರದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪಡೆಯಲು, ಇದು ಇನ್ನೂ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ನಿಖರ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ ಮಧ್ಯವರ್ತಿಯಾಗಿ ಮುಖವಾಡ.
ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಮುಖವಾಡದ ಮೇಲೆ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಲು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣವನ್ನು ಬಳಸುವುದು (ಫೋಟೊಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ನೋಡಿ), ಇದರಿಂದಾಗಿ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನ ಪರಮಾಣುಗಳು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳ ಪ್ರಭಾವದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ (ಅಥವಾ ಕೊಳೆಯುತ್ತವೆ), ತದನಂತರ ಭಾಗ ಮುಖವಾಡವನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಪಾಲಿಮರ್ ಅಥವಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಿಸದ ಡೆವಲಪರ್‌ನಿಂದ ಕರಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದ ಮಾನ್ಯತೆ ಫಲಕ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ra 0.01 ಮೈಕ್ರಾನ್ ವರೆಗೆ ಸ್ಥಾನಿಕ ನಿಖರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಸಿಎನ್ಸಿ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.
