வீஹுவா டெக்னாலஜி கோ., எல்.டி.டி என்பது 10 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான தொழில்நுட்பக் குவிப்புகளைக் கொண்ட ஒரு துல்லியமான சி.என்.சி எந்திர நிறுவனமாகும், இதில் வணிகத்தை வழங்குகிறது: துல்லியமான சி.என்.சி திருப்புதல், சி.என்.சி துல்லியமான பாகங்கள் செயலாக்கம், அலுமினிய அலாய் செயலாக்கம், சிக்கலான பாகங்கள் சி.என்.சி செயலாக்கம், தரமற்ற பாகங்கள் சி.என்.சி செயலாக்கம் மற்றும் பலவிதமான துல்லியமான சி.என்.சி எந்திரம்; நாங்கள் அனுபவம் வாய்ந்த பொறியாளர்கள் மற்றும் தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் மற்றும் சிறந்த திறமையான தொழில்நுட்ப வல்லுநர்களைக் கொண்டுள்ளோம், ஆலோசிக்க வரவேற்கிறோம்.
தீவிர துல்லியமான சி.என்.சி எந்திரத்தின் வகைப்பாடு வகைகள் யாவை?
ஒன்று, அல்ட்ரா-துல்லியமான சி.என்.சி எந்திரம்
முக்கியமாக அதி-துல்லியமான திருப்புதல், கண்ணாடி அரைத்தல் மற்றும் அரைத்தல் ஆகியவை உள்ளன. மைக்ரோ திருப்புதலுக்கான ஒற்றை படிக வைர திருப்பு கருவியை நன்றாக அரைத்த பின் தீவிர துல்லியமான லேத்தில், சுமார் 1 மைக்ரான் தடிமன் வெட்டுவது, பெரும்பாலும் இரும்பு அல்லாத உலோக பொருட்களை செயலாக்க பயன்படுகிறது உயர் துல்லியமான, மிகவும் மென்மையான மேற்பரப்பு பாகங்கள் போன்ற கோள, ஆஸ்பெரிக் மேற்பரப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு பிரதிபலிப்பான்.
எடுத்துக்காட்டாக, அணு இணைவு சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படும் 800 மிமீ விட்டம் கொண்ட ஆஸ்பெரிக் பிரதிபலிப்பாளர்கள் 0.1 மைக்ரான் வரை மிக உயர்ந்த துல்லியத்தைக் கொண்டுள்ளனர், மேலும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Rz0.05 மைக்ரான் ஆகும்.
இரண்டு, அதி-துல்லியமான சி.என்.சி துல்லிய திருப்பு பாகங்கள் சிறப்பு செயலாக்கம்
நானோமீட்டருக்கு இயந்திர துல்லியம், இறுதியில் அணு அலகுக்கு (அணு லட்டு தூரம் 0.1 ~ 0.2 என்.எம்) இலக்காக, எந்திர முறை பூர்த்தி செய்ய முடியாது, ஒரு சிறப்பு செயலாக்க முறை தேவை, அதாவது வேதியியல் ஆற்றல், மின் வேதியியல் ஆற்றல், வெப்பம் அல்லது மின்சாரம் மேலும், இந்த ஆற்றலை அணுக்களுக்கு இடையில் பிணைக்கும் ஆற்றலுக்கு அப்பால் உருவாக்கி, இதன் மூலம் தீவிர துல்லிய எந்திரத்தின் நோக்கத்தை அடைவதற்காக, பணிப்பக்க ஒட்டுதல், பிணைப்பு மற்றும் லட்டு சிதைப்பது ஆகியவற்றின் மேற்பரப்பில் உள்ள அணுக்களுக்கு இடையேயான பகுதியை நீக்குகிறது.
இந்த செயல்முறைகளில் இயந்திர-வேதியியல் மெருகூட்டல், அயன் துளைத்தல் மற்றும் அயன் பொருத்துதல், எலக்ட்ரான் கற்றை காற்றோட்டம், லேசர் கற்றை செயலாக்கம், உலோக ஆவியாதல் மற்றும் மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி ஆகியவை அடங்கும்.
இந்த முறைகள் அகற்றப்பட்ட அல்லது சேர்க்கப்பட்ட மேற்பரப்பு அடுக்கு பொருளின் அளவைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன.ஆனால், தீவிர துல்லியமான எந்திர துல்லியத்தை பெற, இது இன்னும் துல்லியமான எந்திர உபகரணங்கள் மற்றும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டு முறையைப் பொறுத்தது, மேலும் தீவிர துல்லியத்தைப் பயன்படுத்துகிறது இடைத்தரகராக முகமூடி.
எடுத்துக்காட்டாக, vlsi இன் தட்டு தயாரித்தல் என்பது முகமூடியிலுள்ள ஒளிச்சேர்க்கையாளரை வெளிப்படுத்த எலக்ட்ரான் கற்றை பயன்படுத்துவதாகும் (ஒளிச்சேர்க்கையைப் பார்க்கவும்), இதனால் ஒளிமின்னழுத்திகளின் அணுக்கள் எலக்ட்ரான்களின் தாக்கத்தின் கீழ் நேரடியாக பாலிமரைஸ் செய்யப்படுகின்றன (அல்லது சிதைந்துவிடும்), பின்னர் ஒரு பகுதி பாலிமர் அல்லது பாலிமரைஸ் செய்யப்படாதது முகமூடியை உருவாக்க டெவலப்பரால் கரைக்கப்படுகிறது. எலக்ட்ரான் கற்றை வெளிப்பாடு தட்டு தயாரிப்பிற்கு .0 0.01 மைக்ரான் வரை பொருத்துதல் துல்லியத்துடன் தீவிர துல்லியமான சிஎன்சி எந்திர உபகரணங்கள் தேவைப்படுகின்றன.
